详细说明
浙江志州供应多弧离子真空镀膜机:多弧离子真空镀膜机融合磁控溅射镀膜技术和电弧技术的新型镀膜设备,可适应广泛镀膜靶材,无论金属还是其它介质如化合材料都可以利用溅射工艺进行镀膜及成膜,使膜层附着力、致密度、重复度及颜色一致性好等特点。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAIN、CrN、CU、AU、金刚石膜(DLC)、装饰膜等非金属及化合物的膜层和复合膜层。可编程序控制器(PLC)+触摸屏(HMI)组合电器控制系统,全自动控制。
【主要特点】
1、传动装置为水冷式:设计新颖、结构紧凑、系列间通用、互换性强;水冷式机座,散热效果佳;滚动轴承及传动齿轮可加润滑油运行,使用寿命增长3-5倍。
2、旋转装置为行星旋转机构、具镀膜工艺不同,设计为:公转式、公/自转式。
3、采用气动门铰,自动锁门,减少操作程序,增强真空门整体的密闭性及减少对橡胶密封圈的破坏性。
4、真空容器设计为新型结构,用户可据自己的需求,随时升级为多功能镀膜设备,即可多弧离子镀膜,又可磁控溅射镀膜。
5、主控系统采用PLC方案。操作为工控机(触摸式)控制系统。
6、多弧离子部份采用先进镀膜工艺技术,即可镀制装饰膜,也能镀制功能膜,数道工艺,一次完成,极为先进科学。
7、具镀膜工艺不同,装配不同的直接式工件架或工件笼架,工件架与工件笼架均为拆卸式。