氮化硅陶瓷的主要性能如下表3~1所示


　　 表3~1 氮化硅陶瓷的主要性能指标

性能 反应烧结氮化硅 气压烧结氮化硅 热压烧结氮化硅
体积密度(g/cm3) 2.6~2.8 3.3~3.4 3.2~3.4
抗弯强度（Mpa） 250~300 600~800 1080
断裂韧性（Mpa/M1/2） 2.8~3.2 6.5~7.05 9.1
硬度（HV）（Gpa） 8~10 13~15 15~17
导热系数（W/m.k） 8~12 18~20 23~25
热膨胀系数×10-6/℃（0~1400℃） 2.7 3.2 2.95~3