测量范围
X轴 705mm(28")
Y轴 705mm(28")
Z轴 605mm(24")
测量精度* E=(1.9+3L/1000)μm (当使用TP200时) E=(1.7+3L/1000)μm (当使用SP600/MPP-100时) R=1.9 μm (当使用TP200时) R=1.7 μm (当使用SP600/MPP-100时)
分辨率 0.0001mm(0.1μm)
导向方式 各坐标轴上的空气轴承
驱动速度 CNC模式 8-300mm,*大合成速度520mm/s

操纵杆模式 0-80mm/s(高速模式) 0-3mm/s(低速模式) 0.05mm/s(微进给模式)

*大测量速度 8mm/s
*大测量加速度 各轴加速度0.13G, *大合成加速度0.23G

工件*大高度 800mm(31.5")
*大重量 800kg(1760ibs.)
气压 0.4Mpa
空气消耗量 60升/分(在正常条件下),气源:120升/分
质量 1675kg(3685ibs.)