该设备配备多支空心阴极枪，它利用钽管管内辉光放电的空心阴极效应，导致钽管升温至白炽状态强烈发射电子，形成弧光放电，产生高密度的等离子体电子流，引向坩埚使镀料蒸发、汽化、电离（或通过气体反应）在工件上沉积成膜。该设备配有特制工件装夹机构，可实现工件自转，配有PID温度控制器，炉温控制精度为+1℃。

空心阴极离子镀的等离子体浓度大，离化率高，所沉积膜层结合强度好，组织细密光亮，颜色鲜艳。特别适用于工模具硬质膜，也可用于五金装饰镀膜。可镀TiN、TiCN、TiC等。