该设备为在工具、刀具、模具上镀硬质或超硬保护膜而设计。真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材，充分考虑可承受温，配置多只高效圆形电弧蒸发源，也可配多只空心阴极枪，同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源，保证足够等离子体密度和反应活性，提高膜层致密性和结合力。工件可三维运动，提高膜层均匀性。全自动控制提高工艺稳定性。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAIN、TiAICN、TiCrN、TiCrCN、TiAICrN、多层超硬膜等，应用于精密模具业（冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等）、工具行业（钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、丝锥和齿轮刀具等）、汽车工业（活塞、活塞环、合金轮毂等）。新开发的空心阴极离子镀膜机特别适用于拉刀和齿轮刀具镀超硬膜。