特点及基本参数

●卧式线体结构，可实现单面同时镀膜
●生产效率,*快速度达1分钟/节拍
●模组化设计,维护方便
●镀膜工艺成熟,成品率高
●直流磁控溅射阴极可随客户要求选择
●真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵(分子泵)组成
●线体尺寸可随客户要求定做