全自动光学镀膜设备参数说明

设备型号 GXW-1600A GX-900A GX-1100A GX-1200A GX-13500A
真空室尺寸 800×900 1050×1200 1100×1200 1200×1450 1350×1500
制膜种类 光学增透膜、减反射膜（AR）、宽带增透、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等。
工件夹具 拱型四片装夹、拱型单工件盘公转、三工件盘行星公自转、12轴公自转（卧式）
真空室结构 立式前开门、卧式前开门（304不绣钢）、后置真空系统
真空系统 滑阀泵（旋片泵）＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统）
加热系统 发热管上加热方式，PID控制，*高温度350度
工作气体系统 质量流量控制仪＋电磁阀
电子枪 电子枪四圆形坩埚加一个U形坩埚，高压4KV-8KV可调，可自由选择三角波、正弦波、方波扫描电动定位。
电阻蒸发源 2组电阻蒸发源
离子源 功率2KW，阳极电流*大6A。双灯丝（自动切换）提高附着力、膜层密度、稳定折射率。（霍尔源）
晶振膜厚仪 由美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制抽真空及电子束自动蒸发系统,实现设备的全自动控制
极限真空 8×10－4pa（空载、净室）
抽气时间 空载大气抽至5×10－3pa小于15分钟
控制方式 手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC
备注 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做