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故障现象1：打开电源，电源指示灯不亮；
故障现象2：电源灯亮了，预热灯不亮；
故障现象3：电源灯亮了，预热灯亮、辉光亮，匹配器功率及反射功率，电源的功率指示和电流指示不正常。（正常的功率指针指到220，电流指示0.4）
故障现象4：电源灯亮了，预热灯亮，辉光不亮:；
故障现象5：无功率输出；
故障现象6：有功率输出，但是调不大，或是调不到正常值。
故障现象7：无反射功率，或反射功率过大，射频功率源坏；
射频电源维修流程及报价参考：
1.请您将所需维修的电源用快递的方式发给我们(或直接送至本公司)，并尽可能的将电源故障现象告知我们，便于我们检测与维修。
2.拿到故障电源后，我们会安排工程师**时间进行产品故障检测；
3.检测后提供正式维修报价单及维修周期；
4.报价经您认可后,我们再对产品进行维修；如果您对我们的报价及维修方案不满意，我们会在**时间将故障电源发回，不收取任何检测费用。
5.正常维修周期为3-5个工作日，加急1-3个工作日