详细介绍
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光学镀膜机配置有扇形多片夹具或拱形单工件盘,可镀制层数较多的短波通、长波通、减反射膜、滤光片等应用于光学镜头或光学仪器上的视窗玻璃或分光元件,利用人机界面触摸屏+PLC与全自动晶振膜厚仪构成全自动控制系统,可以实现参数录入、过程监控及数据存储等功能,可设定工艺流程并自动执行,使镀膜膜层重复性、光学性能稳定性有质的提高,解决了人工手动操作复杂性、膜层颜色、光学性能不一致等问题。
应用:特别适用于光学镜头、电子产品、亚克力、玻璃、灯具、手机视窗、眼镜、舞台灯光等,可镀制增透膜、滤光片、幻彩、红五彩、红、黄、绿、蓝等七彩颜色。
全自动光学镀膜设备参数说明
设备型号 GXW-1600A GX-900A GX-1100A GX-1200A GX-13500A
真空室尺寸 800×900 1050×1200 1100×1200 1200×1450 1350×1500
制膜种类 光学增透膜、减反射膜(AR)、宽带增透、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等。
工件夹具 拱型四片装夹、拱型单工件盘公转、三工件盘行星公自转、12轴公自转(卧式)
真空室结构 立式前开门、卧式前开门(304不绣钢)、后置真空系统
真空系统 滑阀泵(旋片泵)+罗茨泵+扩散泵+维持泵(或选配:分子泵、深冷泵、深冷系统)
加热系统 发热管上加热方式,PID控制,*高温度350度
工作气体系统 质量流量控制仪+电磁阀
电子枪 电子枪四圆形坩埚加一个U形坩埚,高压4KV-8KV可调,可自由选择三角波、正弦波、方波扫描电动定位。
电阻蒸发源 2组电阻蒸发源
离子源 功率2KW,阳极电流*大6A。双灯丝(自动切换)提高附着力、膜层密度、稳定折射率。(霍尔源)
晶振膜厚仪 由美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制抽真空及电子束自动蒸发系统,实现设备的全自动控制
极限真空 8×10-4pa(空载、净室)
抽气时间 空载大气抽至5×10-3pa小于15分钟
控制方式 手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC
备注 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做
本资料仅供参考,部分参数可能有所变动,怒不另行通知。
全自动光学镀膜设备