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●卧式线体结构，可实现单面同时镀膜
●生产效率,*快速度达1分钟/节拍
●模组化设计,维护方便
●镀膜工艺成熟,成品率高
●直流磁控溅射阴极可随客户要求选择
●真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵(分子泵)组成
●线体尺寸可随客户要求定做
磁控溅射连续式镀膜生产线设备
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磁控溅射连续式镀膜生产线设备
详细信息 特点及基本参数
●卧式线体结构，可实现单面同时镀膜 ●生产效率,*快速度达1分钟/节拍 ●模组化设计,维护方便 ●镀膜工艺成熟,成品率高 ●直流磁控溅射阴极可随客户要求选择 ●真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵(分子泵)组成 ●线体尺寸可随客户要求定做 |