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采用-C波段紫外线与空气中的氧反应产生臭氧，分解油雾、废气等污染介质时，紫外线中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。
污染介质在电离的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过定向链化学反应后被脱除。当平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在臭氧发生器吸附场的作用下被收集。介质内分子浓度及共存的介质成分。
使用注意事项：
1、不能处理含磷、铬、铅、硫砷、锑、汞、锡及卤素、氨等分子的有机废气，以及高浓度的粉尘，不能处理含有高粘性油脂类的气体，例如医药厂、橡胶厂等行业。
2、不能处理潮湿及高温废气，因为活性炭只能进行常温吸附，而且不防水。
3、活性炭脱附温度要保证在80~120℃，温度过低，影响脱附效果，温度达到130℃则会引起活性炭自燃。
燃烧起动过程：当控制系统在待命的状态下，接到输入的起动命令，将进入燃烧运行状态，首先是控制系统进行自检，之后进行吹扫，变频器输出信号控制风机的旋转，空气风量由低速渐变为高速再逐渐变为低速，新鲜空气吹过燃烧炉盘，以保证炉内没有残留燃气的存在，保证点火过程的安全可靠。具体操作是变频器先起动，PLC模拟输出信号使变频器频率从起动设定频率开始上升，达到一定频率后保持一定时间后再下降，完成起动前的吹扫。之后，发出点火信号，高压点火器工作，同时打开点火管道的阀门，小火点燃。通过紫外线传感器的检测到期小火点燃后，打开主燃气阀门。这时催化燃烧炉盘进行有焰燃烧，直到检测温度信号达到设定的点火关闭温度，点火阀门关闭，完成点火过程，进入到催化燃烧调节阶段。
催化燃烧废气处理设备燃烧停止状态：燃烧器的停止是在接受到文本显示器发来的停止命令，首先将主燃气阀关断，然后系统进行吹扫，驱散残余燃气，并对燃烧盘进行强制降温。经过一段时间之后，关闭风机。变频器停止工作，完成燃烧器停机过程。