点击图片查看原图Tetra-600-LF-PC-V1等离子清洗/刻蚀机
1. 外形尺寸
W600mm × H2200mm × D800mm
2. 真空舱规格
W1000mm × H1000mm × D600mm
3. 舱体容量
约 600升
4. 处理气体
10气体通路
5. 射频发生器
2×40kHz/1000 W射频发生器，功率连续可调，自动匹配
6. 控制系统
计算机（PC）控制
等离子清洗/刻蚀机
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等离子清洗/刻蚀机
详细信息 Tetra-600-LF-PC-V1等离子清洗/刻蚀机
1. 外形尺寸 W600mm × H2200mm × D800mm 2. 真空舱规格 W1000mm × H1000mm × D600mm 3. 舱体容量 约 600升 4. 处理气体 10气体通路 5. 射频发生器 2×40kHz/1000 W射频发生器，功率连续可调，自动匹配 6. 控制系统 计算机（PC）控制 共0条 相关评论 |