点击图片查看原图氮化硅结构陶瓷规格与技术数据
材料名称
Material name
单位
SI3N4(RB)
SI3N4(G.P.S)
体积密度
Volume densityg
g/cm3
2.5-2.6
3.2-3.3
硬度
Hardoess
HRA
80-86
90-93
抗弯强度
Bending strength
MPa
160-210
500-700
气孔率
Air hole rate
%
10-15
＜1
热膨胀系数
Thermal expansion coefficient
1×10-6/C0
2.53
3.5
断裂韧性
Breaking tenacity
(MPa m1/2)
2.8
7
热导率
ThermalConductivity
W/m·K
15
25
氮化硅压盖