氮化硅陶瓷的主要性能如下表3~1所示
表3~1 氮化硅陶瓷的主要性能指标
性能 反应烧结氮化硅 气压烧结氮化硅 热压烧结氮化硅
体积密度(g/cm3) 2.6~2.8 3.3~3.4 3.2~3.4
抗弯强度(Mpa) 250~300 600~800 1080
断裂韧性(Mpa/M1/2) 2.8~3.2 6.5~7.05 9.1
硬度(HV)(Gpa) 8~10 13~15 15~17
导热系数(W/m.k) 8~12 18~20 23~25
热膨胀系数×10-6/℃(0~1400℃) 2.7 3.2 2.95~3
氮化硅陶瓷高压均质耐磨阀